激光尘埃粒子计数器的校准规范：

JJF 1190-2008 《尘埃粒子计数器校准规范》（通用型，现行）

- JJF 2295-2025 《在线尘埃粒子计数器校准规范》（2026-03-08实施，在线专用）

- GB/T 29024.4-2017 《粒度分析 单颗粒光学测量方法 第4部分：洁净间光散射尘埃粒子计数器》 

- GB/T 6167-2007 《尘埃粒子计数器性能试验方法》

二、校准前准备（通用要求）

- 环境：温度15–35℃、湿度≤85%RH、洁净度≤10000级、无强电磁干扰

- 仪器：预热10–30min、自检正常、清洁光学/采样口、无泄漏

- 标准器：单分散PSL标准粒子（0.1–10μm，偏差≤5%）、标准流量计（±1%）、标准粒子发生器、HEPA过滤器

三、核心校准项目与指标（JJF 1190-2008）

1. 零点（本底）

- 方法：HEPA密封进气，连续采样10min，记录5min累积值

- 要求：＞0.3μm通道 ≤10个/m³

2. 采样流量（最常用2.83L/min、28.3L/min）

- 示值误差：≤±5%

- 稳定性：连续30min，≤±2%

- 方法：标准流量计串联，测3次取平均

3. 粒径分辨与示值误差（关键）

- 校准点：常用0.3μm、0.5μm、1.0μm、5.0μm

- 粒径示值误差：≤±10%（0.5μm常用）

- 粒径分布误差：≤±30%（0.5μm）

4. 计数效率（灵敏度）

- 最小粒径挡（如0.3μm）：≥50%

- 方法：通入已知浓度标准粒子，实测/理论比值

5. 计数重复性（精密度）

- 同一浓度连续测≥6次，相对标准偏差RSD ≤10%

6. 浓度示值误差

- 常用：≤±30%（0.5μm）

四、在线型专用（JJF 2295-2025，新增）

- 延迟时间校准（≥5s）

- 多通道同步性、数据传输一致性

- 适用：洁净室在线监测、半导体/制药在线系统

五、校准周期与溯源

- 常规：每年1次

- 严苛/高频：每3–6个月

- 必须溯源至国家计量基准，出具CNAS认可证书

六、校准报告要点

- 仪器信息、环境条件、标准器溯源

- 各项目实测值、误差、合格判定

- 校准日期、有效期、校准员/审核员